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Integriertes Gassystem

Das Integrierte Gassystem ist ein modulares System, das für die Gaskontrolle in der Halbleiterindustrie verwendet wird. Mit dem Fortschritt der Halbleiterprozesstechnologie steigen die Anforderungen an das Gasregelsystem.

Das integrierte FITOK-Gassystem verwendet oberflächenmontierte Komponenten, die dem SEMI-Standard für modulares Design entsprechen, was die Installation und Wartung vereinfacht und gleichzeitig die Größe des Systems verringert.

Einzel-Fließweg-System

Eigenschaften

Modulare Konstruktion – Verkürzung der Konstruktionszeit

Nach dem PID-Diagramm des Kunden kann das Design durch die Installation von Standardsubstrat, Ventilen (Membranventile, Rückschlagventile, Regler), Durchflussmessern, Filtern, Drucksensoren und anderen Komponenten auf der Schalttafel vervollständigt werden.

Oberflächenmontage – einfache Installation und Wartung

Alle Komponenten sind nach SEMI-Standard (1,125 “W-Dichtung) oberflächenmontiert, und die Installation und spätere Wartung kann mit einfachen Werkzeugen durchgeführt werden.

 

◆Miniaturization

Die Größe beträgt etwa 1/3 der herkömmlichen Schalttafel, und die entsprechende Fließweggröße ist zur besseren Kontaminationskontrolle ebenfalls reduziert.

◆316LVV Werkstoff, Elektropolierverfahren und Orbitalschweißen

Die medienberührten Komponenten sind alle aus austenitischem Edelstahl 316LVIM-VAR, die Fließwege sind alle elektrolytisch poliert (Ra0,13), und die Fittings sind alle orbital geschweißt.

W-seal

W-Seal zwischen den Bauteilen und dem Substrat sind die Dichtflächen unabhängig von den Bauteilen, die äußere Kräfte aufnehmen, und erzielen so die optimale Dichtwirkung.

Neun-Fluss-Pfad-System

Informationen zum Bestellen

FITOK kann Integrierte Gassysteme nach PID-Diagrammen des Kunden entwerfen und liefern, wobei Filter, Drucksensoren und MFC vom Kunden zur Verfügung gestellt werden können oder FITOK unter vom Kunden zur Verfügung gestellten Marken einkaufen kann.

 

Weitere Informationen finden Sie im Produktkatalog. Sollten Sie Fragen haben, wenden Sie sich bitte direkt an uns.